Complaint
| طاقة الإدخال | 220VAC 50/60 هرتز، أحادي الطور 2000 واط (مع المضخة) |
| مصدر الطاقة | يتم دمج مصدري طاقة متغيرين في صندوق تحكم واحد مصدر تيار مستمر: 500 واط لطلاء المواد المعدنية مصدر RF: 600 واط مع وضع آلية لطلاء المواد غير المعدنية (الوسط) يتوفر مصدر RF صغير الحجم 300 بتكلفة إضافية |
| رأس النترونية | يوجد اثنان من رؤوس المغنطرون مقاس 2 بوصة مع سترات تبريد المياه متضمن يتصل أحدهما بمصدر طاقة تردد الراديو للمواد غير الموصلة للكهرباء وهناك مصدر آخر متصل بمصدر طاقة تيار مستمر للطلاء المواد المعدنية متطلبات الحجم المستهدف: القطر 2 بوصة نطاق السُمك: 0.1 - 5 مم للأهداف المعدنية وغير الموصلة كما يتضمن السعر مستهدفًا واحدًا من الفولاذ المقاوم للصدأ وآخر من السيراميك Al2O3 لاختبار العرض التوضيحي تبريد ماء الرأس: يلزم تدفق الماء حتى 10 مل/الدقيقة، كما يوجد مبرد مياه واحد يعمل بتقنية التحكم الرقمي سعة 16 مل/دقيقة لإعادة تدوير المياه لتبريد رأسي دوران المغنطرون مقعدان مخصّصان: رأسا تيار مستمر بدون، وتفرقةالتردد الراديوي، ورأس RF بدون ترفرف التيار المستمر، يتوفر 3 رؤوس RF عند الطلب |
| المكنسة الكهربائية الغرفة | حجرة التفريغ: ارتفاع 300 مم × 300 مم، مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ نافذة المراقبة: قطر 100 مم غطاء ذو مفاصل علوي مع رياضة ينابيع هوائية تصنع سهولة تبادل الأهداف |
| حامل العينة | حجم حامل العينة: 140 مم قطر. لـ. 4 بوصات كحد أقصى للرفعة (يمكن أيضًا تصميمه كمتطلب منك) سرعة دوران حامل العينة قابلة للضبط: 1 - 20 دورة في الدقيقة للطلاء المتماثل يمكن ضبط درجة حرارة الحامل من RT إلى 500 درجة مئوية كحد أقصى بدقة +/- 1.0 درجة مئوية |
| تدفق الغاز التحكم | وحدتا MFC رقميتان (وحدة التحكم في التدفق الكبير) يتم تركيبها للسماح بنوعين من الغازات تم الملء معدل التدفق: 200 مل/دقيقة بحد أقصى يمكن ضبط معدل التدفق على مفتاح التحكم بشاشة اللمس بقياس 6 بوصات اللوحة |
| مضخة التفريغ المحطة | يتم تركيب نظام مضخة الفاكيوم عالية السرعة (مصنوعة في ألمانيا) مباشرة على حجرة التفريغ من أجل الحد الأقصى لمستوى التفريغ يتم توصيل المضخة الميكانيكية ثنائية المراحل للخدمة الشاقة بالتربو مضخة لسرعة أكبر للمضخة يتم تضمين محطة المضخة المحمولة وموضع القفلين الصغير يمكن وضعه فوق المحطة الحد الأقصى لمستوى التفريغ: 10^-6 torr مع خَبز الحجرة |
| السمك الشاشة | تم تضمين مستشعر سمك كوارتز دقيق واحد في الغرفة لمراقبة سمك الطلاء بدقة 0.10 وحدة شاشة LED خارج الحجرة CAN: 5 أجهزة كمبيوتر شخصي مستشعرات كوارتز (قابلة للاستهلاك) متضمنة مواد الإدخال التي يجب أن تكون مغلفة وفقًا لقاعدة البيانات المضمنة عرض إجمالي سمك الطلاء وسرعة الطلاء يلزم تبريد الماء |
| إجمالاً الأبعاد | L1300مم × W660مم × H1200مم |
| الوزن الصافي | 160 كجم |
| الضمان | ضمان محدود لمدة سنة واحدة مع دعم طوال فترة الحملة |
| ملاحظة التطبيق | لإزالة الأكسجين من الغرفة، ننصحك باستخدام 5% من Hytrogen + 95% من النيتروجين إلى غرفة العشبية 2-3 مرات، ما قد يقلل الأكسجين إلى أقل من 10 أجزاء في المليون يرجى استخدام > 5 نيوتن نقاء غاز أرجون لتتفرف البلازما. على الرغم من أن غاز Ar بدرجة نقاء 5 نيوتن، إلا أنه يحتوي عادة على الأكسجين الذي يتراوح بين 10 و100 جزء في المليون (جزء في المليون) وH2O |
