Complaint
| العنصر | الفهرس | ||
| CF4، %(V/V) أو | 99.999 | 99.995 | 99.99 |
| N2، 10-6(V/V) ≤ | 4 | 20 | 40 |
| O2، 10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
| CO2، 10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
| CO، 10-6(V/V) ≤ | 0.3 | 0.5 | 1 |
| SF6، 10-6(V/V) ≤ | 1 | 1 | 5 |
| H2O، 10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
| HF، 10-6(فولت/فولت) ≤ | 0.1 | 0.3 | 0.3 |
| TFC(CH2F2،CHF3،C2F3،C3F8)،10-6(V/V) ≤ | 1 | 10 | 30 |
| محتوى الشوائب الإجمالي، ppm (V/V) ≤ | 10 | 50 | 100 |
| المعلمة آسساي الحرجة | الوحدة | الشركة المواصفات | التحليل النتائج | طريقة التحليل |
| تيتراجلوروميثان (CF4) | %(v/v) | 99,999% دقيقة | >99.999% | ج |
| الأكسجين (O2) | صفحة في الدقيقة | <1.0 | <0.2 | ج |
| النيتروجين (N2) | صفحة في الدقيقة | <1.0 | <0.6 | ج |
| أول أكسيد الكربون (CO) | صفحة في الدقيقة | <0.5 | <0.2 | ج |
| ثاني أكسيد الكربون (CO2) | صفحة في الدقيقة | <0.5 | <0.2 | ج |
| سادس فلوريد الكبريت(SF6) | صفحة في الدقيقة | <0.2 | <0.1 | ج |
| تريفلوروميثان (CHF3) | صفحة في الدقيقة | <0.5 | <0.1 | ج |
| أخرى Halocarbon (OFC)* | صفحة في الدقيقة | <1.0 | <0.7 | ج |
| إجمالي هيدروكربون (THC)* | صفحة في الدقيقة | <0.5 | <0.1 | ج |
| الرطوبة (H2O) | صفحة في الدقيقة | <0.5 | <0.2 | محلل الرطوبة |
| الحموضة(مثل HF) | صفحة في الدقيقة | <0.1 | <0.08 | محلل الحموضة |
| إجمالي محتويات الشوائب | صفحة في الدقيقة | ≤10.0 | <10.0 | ج |
| Particale (>0.1 ميكرومتر) | قطع/لتر | <10.0 | <1.0 | ICP-MS |
