هو | ≥99,999% | 99.999% | ||||||||
شمال شرق | <4.0 جزء في الدقيقة | 2.2 صفحة في الدقيقة | ||||||||
ح2 | <1.0 صفحة في الدقيقة | 0.5 جزء في المليون | ||||||||
O2+Ar | <1.0 صفحة في الدقيقة | 0.638 جزء في المليون | ||||||||
N2 | <2.0 صفحة في الدقيقة | 1.54 جزء في المليون | ||||||||
أمر تغيير | أقل من 0.5 صفحة في الدقيقة | 0.21 جزء في المليون | ||||||||
CO2 | أقل من 0.5 صفحة في الدقيقة | 0.19 جزء في المليون | ||||||||
H2O | أقل من 3.0 جزء في المليون | 1.62 صفحة في الدقيقة | ||||||||
CH4 | أقل من 0.5 صفحة في الدقيقة | 0.21 جزء في المليون |