| cota de modo | ZZ-1200 | ZZ-1400 | ZZ-1600 | ZZ-1800 |
| | 1200*1400mm | 1400*1600mm | 1600*1800mm | 1800*2000mm |
| Tipo de película | Película semitransparente, película no conductora, oro, plata, rojo, azul, verde, púrpura, siete colores, etc. |
| Tipo de fuente de alimentación | Potencia de evaporación térmica, potencia de bomba iónica, potencia de RF |
| Estructura de la cámara de vacío | Puerta doble/individual vertical, puerta única horizontal, postposición del sistema de bomba |
| Vacío final | 8,0*10 -4 Pa |
| Sistema de vacío | Bomba de difusión +bomba de raíces +bomba mecánica +bomba de sujeción |
| Tiempo de bombeo | Bombee de la atmósfera a 5,0*10 -2, aproximadamente 6 minutos |
| Modo de movimiento de la pieza | Rotación pública/Control de frecuencia |
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