Modo de trabajo | 
FM-tocando, opcional contacto, la fricción, la fase, magnético o electroestática. |

El tamaño | 
Φ≤90mm, H≤20mm |

Scanningrange | 
20 Mmde XYdirection, 2 Mm en la dirección z. |

Scanningresolution | 
En XY 0.2nm dirección, 0, 05 nm en dirección Z |

Muestra de Movementrange | 
±6.5mm |

El ancho de pulso dela Enfoques motor | 
10±2 ms |

 Punto de muestreo de imágenes | 
256×256, 512×512 |

Ampliación óptica | 
4X |

 Resolución óptica | 
2, 5 Mm |

 Velocidad de lectura | 
0.6Hz~4, 34Hz |

El ángulo de lectura | 
0°~360° |

 Control de análisis | 
18-bit D/A en la dirección XY, 16-bit D/A en la dirección Z |

 Muestreo de datos | 
14-bitA/D, doble16 bits A/D multi-canal de muestreo síncrono |

Los comentarios | 
Comentarios digital DSP |

 Frecuencia de muestreo de comentarios | 
64.0KHz. |

 La interfaz de ordenador | 
Usb 2.0 |

El entorno operativo | 
Windows98/2000/XP/7/8 |