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ESPUMACIÓN DE MAGNETRÓN: DESCRIPCIÓN GENERAL
El esputo es un proceso de deposición basado en plasma en el cual los iones energéticos se aceleran hacia un objetivo. Los iones golpean el objetivo y los átomos son expulsados (o escupidos) de la superficie. Estos átomos viajan hacia el sustrato e incorporan en la película creciente.
El equipo de recubrimiento de espumación de magnetrón es un instrumento especial de recubrimiento de laboratorio desarrollado por nuestra empresa. El equipo puede estar equipado con fuente de alimentación de CC y fuente de alimentación de RF. La potencia oscila entre 500W y 1000W. Puede usarse para preparar películas delgadas ferroeléctricas de una o varias capas, películas conductoras, películas de aleación, películas de semiconductores, películas cerámicas, películas dieléctricas, películas ópticas, etc.
Equipo de recubrimiento de espumación de magnetrón PVD con bomba de vacío molecular turbo sistema
Este equipo es un equipo de sobremesa de un solo objetivo magnetrón esputtering coater. El equipo ha sido miniaturizado y diseñado para limitar la apariencia del equipo al nivel de escritorio, reduciendo en gran medida los requisitos del lugar de instalación. El equipo está equipado con una fuente de alimentación de CC, que puede utilizarse para escupir materiales metálicos y tiene las características de velocidad rápida y baja elevación de temperatura. Toda la cámara de vacío adopta el diseño de la base de blanco, que tiene un buen efecto de pulverización y menos contaminación por impurezas, lo que puede proteger la muestra en la mayor medida posible.
Especificaciones de la unidad de espumación de blanco de magnetrón simple
| TN-MSP180S-DC-GU de un solo objetivo magnetrón esputtering coater | ||||
| Plataforma de muestras | tamaño | φ100mm | Calefacción | Máx. 500ºC. |
| Velocidad de rotación | 0-20 ajustable | Método de instalación | La plataforma de muestras se encuentra debajo de la cubierta superior de la cámara y la muestra se instala como tipo de abrazadera | |
| Objetivo de espumación de magnetrón | Cantidad | x1" 2 montaje inferior con brida inferior de cámara | ||
| Cámara de vacío | Tamaño de la cámara | Φ180mm x 215mm | Ventana de observación | Frontal φ60mm |
| Material de la cámara | SS304 | Método de apertura | Cubierta superior abierta | |
| Sistema de vacío | Bomba mecánica | Bomba de paletas rotativas | Interfaz de bombeo | KF16 |
| Bomba molecular | Bomba turbomolecular | Interfaz de bombeo | KF40 | |
| Medición de vacío | Indicador de resistencia + indicador de ionización | Interfaz de escape | KF16 | |
| Vacío final | 1,0E-4PA | Fuente de alimentación | AC 220V 50/60Hz | |
| Velocidad de bombeo | Bomba mecánica: 1,1L/s bomba molecular: 60L/S. | |||
| Configuración de alimentación | Cantidad | Fuente de alimentación de CC x1 | Potencia de salida máxima | Fuente de alimentación de CC 300W |
| Otros | Tensión de alimentación | ac220v, 50Hz | Dimensiones | 550mm x 350mm x400mm |
| Potencia total | 2kW | |||
1. Tenemos magnetrón esputtering coater con 1 objetivos, 2 objetivos, 3 objetivos, objetivo puede ser diseñado en la parte superior o inferior de
la cámara.
2. Se dispone de alimentación de CC o destino de potencia de RF.
3. El material objetivo es opcional
4. Blanco magnético fuerte y blanco mágico pernanente es opcional
5. El magnetrón esputtering coater con fuente de evaporación está disponible
6. Servicio personalizado siempre disponible!
Un solo objetivo de magnetrón esputtering coater con potencia de RF
Un solo objetivo de magnetrón esputtering coater con alimentación de CC
Mesa de magnetrón de objetivo único esputante coater con potencia de RF
Mono objetivo magnetrón esputtering coater con objetivo de botom
Podemos enviar el magnetrón esputter coater por tierra, por mar, por aire, por expreso, también puede organizar el paquete y el envío de acuerdo con sus necesidades.
P. ¿es usted fabricante o empresa comercial?
R. Somos fabricantes profesionales de instrumentos de laboratorio, contamos con un equipo de I+D y un taller profesionales, que pueden prometer la calidad y el servicio de posventa.
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R. nuestra garantía es de 12 meses, y proporciona mantenimiento de por vida. Ofrecemos servicio en línea las 24 horas.
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