Modo Dimensión | LH-800 | LH-1250 | LH-1416 | LH-1618 |
800*1000mm | 1200*1500mm | 1400*1600mm | 1600*1800mm | |
Modo de recubrimiento y confirmación principal | Ocho objetivos multiarco | Doce objetivos multiarco | Catorce objetivos multiarco | Veinte objetivos multiarco |
Fuente de alimentación | Energía de arco eléctrico, energía de filamento, fuente de alimentación de polarización pulsada | |||
Control de gas de proceso | Caudalímetro de masa + válvula cerámica electromagnética | |||
Estructura de la cámara de vacío | Puerta de apertura lateral vertical, posición del sistema de bomba, refrigeración por agua doble | |||
Sistema de vacío | Bomba de molécula + bomba de raíces + bomba mecánica (5,0*10 -5 Pa) Bomba de difusión + bomba de raíces + bomba mecánica (5,0*10 -4 Pa) | |||
Temperatura de cocción de la pieza | Temperatura normal a 350 centi-grado control PID, calor de radiación. | |||
Modo de movimiento de la pieza | Rotación pública Control de frecuencia: 0-20 rotación por minuto | |||
Modo de medición | Indicador de vacío compuesto de pantalla numérica: De la atmósfera a 1,0*10 -5 Pa | |||
Modo de control | Manual/automático/PC/PLC + HMI/PC cuatro opciones de modo de control | |||
Observación | Podemos diseñar la dimensión del equipo de acuerdo con los requisitos técnicos especiales del cliente. |
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Persona de contacto: Mandy Liu